메탈 나노구조체 형성을 위한 임프린트 장비
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 에이피시스템 |
모델명 | 개발장비 |
장비사양 | |
취득일자 | 2010-10-01 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기계연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C519 |
표준분류명 | 생산 |
시설장비 설명 | 1. 메탈 나노구조체 형성을 위한 임프린트 장비로 스텝-앤-리피트 형 임프린트가 가능함 2. 디스펜싱 타입으로 레진을 도포하며 레진이 코팅된 기판도 사용 가능함 3. 레진 디스펜싱 양 및 영역을 컴퓨터로 제어가 가능함 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131018133625761.JPG |
장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-04-187119 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057673 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |