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장비 및 시설 기본정보
풀 에이치디용 노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Philex |
| 모델명 | PHILEX-SC100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-07-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광운대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 기판폭 : MAX 650*550mm ~ MIN 150*150mm Mask : MAX 750mm*650mm 패턴 사이즈 : MAX 550*450mm ~ 100*100mm 마스크 타입 : Film 및 Glass Mask(4.8t) 장비 구성 : 노광 본체 광원부 조작 판넬 및 제어부 조도 (평행광) 5kw CCD 카메라는 XY 2축으로 이동구성및성능 PDP 공정 과정중 노광활용분야 PDP 공정중에서 ITO DFR 노광 감광성 전극 페이스트 노광 샌드 격벽 DFR 노광시 사용 글라스에 DFR 라미네이팅을 한후에 패턴 마스크를 놓고 노광하여 현상 에칭 박리 과정을 거치면 ITO 패턴 형성 할 수 있음. 감광성 전극 페이스트를 레이어로 인쇄한후 패턴 모양 마스크를 올려 놓고 노광을 하여 현상을 하면 전극패턴 형성. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200808/.thumb/20080805160814.JPG |
| 장비위치주소 | 서울시 노원구 월계동 447-30번지 광운대학교 차세대 PDP공동연구지원센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-063056 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009242 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |