| 보유기관명 |
한국기계연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C510 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
상기 장비는 주사 전자 현미경의 시편 제작용 장치로써 주사 전자 현미경을 이용하여 시편을 관찰하기 위한 시편 전처리 장치 중 가장 최신의 기술과 기능을 갖춘 장비입니다. 가공할 시편을 한번에 다량으로 장착하여 고 진공(7 x 10-5 torr)의 Chamber에 위치시키고 매우 Fine하고 Density가 높은 Etching Ion Beam으로 Ion Etching 을 실시함으로써 짧은 시간 |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013102311030786.jpg |
| 장비위치주소 |
한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-10-183657 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0038860 |
| 첨부파일 |
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