| 보유기관명 |
한국기계연구원 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
A206 |
| 표준분류명 |
시험 |
| 시설장비 설명 |
1) 초소형 SEM으로써 공간의 설치환경 해소와 이동이 편리하며 사용이 간편함. 2) 친숙한 Windows 7 환경 하에서 작업을 수행할 수 있으며 네트워킹을 통하여 컴퓨터간의 이미지 데이터의 공유가 가능함. 3) 최적의 운영환경을 단지 키보드와 마우스만을 이용함으로서 보다 쉽게 구성할 수 있음. 4) SEM의 분해능은 5.0nm임(가속전압 30kV Working distance 3mm) 5) 이미지 Scan후 곧바로 화면상에서 측정 및 분석이 가능. 6) 관찰에 따른 모든 데이터는 항상 모니터링 되어 지며 또한 획득한 이미지는 자동화된 컴퓨터 시스템에 의해 보다 쉽게 저장할 수 있음. 7) 샘플의 이동 관찰시 초점과 배율의 흐트러짐이 없이 관찰이 가능. 8) 챔버내부의 CCD 카메라 장착을 통하여 충돌방지 및 시료위치 확인 Manipulator 구성도를 확인할 수 있음. 9) BSE Detector 및 Low Vacuum 모드를 통하여 시료의 전처리(코팅)없이 손쉽게 영상구현이 가능함. 10) Manipulator 장착을 통하여 시료의 내부 관찰조건을 다변화 할 수 있음. |
| 장비이미지코드 |
https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161017141723_20120628000000148790 NFEC-2012-06-165877.jpg |
| 장비위치주소 |
한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-06-165877 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0033563 |
| 첨부파일 |
|
