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장비 및 시설 기본정보
PLD system
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 한백(HANVAC) |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2002-05-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D0 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 작은 크기의 기판을 블럭 히터에 붙여서 펄스 레이저 증착 방법으로 고온초전도 박막을 증착할 수 있는 장비이다. 다양한 타켓을 이용할 수 있으며 조성이 복잡한 물질에 대해 매우 정확한 조성비를 갖는 박막을 제조할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201308/20130822194450802.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 제2연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2003-04-040921 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053264 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |