초고분해능 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | SU8230 |
장비사양 | |
취득일자 | 2016-03-28 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국과학기술원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 1. 표면관찰 2. 무기물 시료(금속, 반도체, 절연체, 미세입자 등) 및 유기물 시료(건조된 생체조직, 목재, 식물 등)의 표면 구조 빔 뎀지와 샘플 파괴없이 관찰 3. 초미세가공 샘플의 구조 관측 및 평가 4. 박막, 다층막 등의 단면관측을 통한 두께 결정과 구조 관찰 ? 저가속 전압에서 고분해능 관측가능 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201603/20160316214825614.jpg |
장비위치주소 | 한국과학기술원 W8-1/중앙분석센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2016-03-208540 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059948 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |