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장비 및 시설 기본정보
이온빔 스퍼터/에칭 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ibs America |
| 모델명 | QSI System 9000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-09-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 특징 이온빔을 이용하여 증착 및 에칭을 하는 장비이며 이온빔이 두개로 작은 타겟으로 큰 면적의 증착이 가능한 특징을 가짐 구성및성능 - 두 개의 이온빔 소스 - 회전과 기울임 조절이 가능한 스테이지 - 2“와 4” 웨이퍼 모두 가공 가능 - 스퍼터와 에칭이 모두 가능 - 10-7의 고진공 시스템 - 박막 두께 모니터링 디스플레이 - 4개 타겟 동시 사용가능 홀더 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201309/20130911142129792.jpg |
| 장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-07-069198 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0056088 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |