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장비 및 시설 기본정보
웨이퍼 식각기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 오엔에이치 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2018-02-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | - 습식식각세정장치는 저가격/대면적 OLED조명 제작을 위한 투명전극을 케미칼을 사용하여 선택적으로 식각/세정하는 장치로서, 2세대(370mm×470mm) 기판 대응이 가능하며 기판의 균일한 투명전극 식각 및 기판의 이물질 세정/건조까지 이루워지는 시스템임. - Roller conveyor(매엽식) 방식으로, 현재 디스플레이산업에서 사용하는 대면적 기판 세정에 적합한 방식이며, Roller conveyor(매엽식) type의 장비의 경우 370×470 mm2 기판 투입 전 초기 세정/ITO 패턴 형성/보조 전극 형성을 위한 etcher와 유기 용제를 이용한 PR stripper 파트로 분리 하여 구축함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201802/2018022610258341.jpg |
| 장비위치주소 | 나노기술직접센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2018-04-243056 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201903127145 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |