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장비 및 시설 기본정보
롤투롤 다층 투명전극 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아이작리서치 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-08-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 전도성 투명 산화막과 금속 박막을 증착하기 위한 공정장비로서, 폭 300 mm이상의 유연 기판에 roll-to-roll 인라인 연속공정 방식으로, 또는 6" wafer 및 100x100 mm 이상의 경질 sheet 기판에 박막을 증착하는 장비. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201708/20170829104524322.jpg |
| 장비위치주소 | 4연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-08-239431 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712191663 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |