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장비 및 시설 기본정보
오제이전자분광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ulvac |
| 모델명 | PHI 700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-05-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 특성분석센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 : 오제이 전자 분광법 (Auger Electron Spectroscopy) 은 초고진공 상태에서 수백Å크기로 집속된 전자빔을 소재 및 부품(금속재료 및 반도체재료 등) 표면에 입사시켜 방출되는 Auger전자의 운동에너지를 측정함으로써 재료표면을 구성하고 있는 원소의 종류와 양을 빠르게 분석해 내는 표면분석방법으로써 시료의 표면에 존재하는 오염성분측정 다층박막 성분분석은 물론 나노미터 공간분해능으로 미세영역분석 및 표면의 2차원 화학조성 이미지 mapping을 통하여 표면의 성분분포를 알아낼 수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110126182823.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 L5 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-05-052083 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST AAC-00032 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |