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장비 및 시설 기본정보
고온 증착 모듈
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한진공개발 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C204 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 과제명:경원소 공유결합형 초경도 박막합성 기술 주관기관명:한국과학기술연구원 연구책임자:백영준 과제번호:2M24220(50228) 특징 질화물 박막을 합성하기 위한 cosputtering 공정 장비에서 1000oC이상의 증착온도를 만족시키기 위한 module로 고온에서 합성이 필요한 신 박막 물질의 합성 연구 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110831142139.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-11-077238 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054696 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |