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장비 및 시설 기본정보
전개방사형주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hitachi |
| 모델명 | S-4800 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-03-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 시료 표면의 미세한 구조를 확대관찰하는 기기로서 시료 표면 형상을 보다 정밀하게 관찰하는데 사용되는 분석기기구성및성능 1. FE-SEM (S-4800) ·Resolution : - 1.0nm (accelerating voltage 15kV WD=4mm) - 2.0nm (accelerating voltage 1kV WD=1.5mm) ·Magnification : - High magnification mode ·100 to 800000x - Low magnification mode ·30 to 2000x Electron Optics : - Electron gun Cold cathode field emission type - Accelerating voltage ·0.5 to 30kV - Extracting voltage ·0 to 6.5kV - Lens ·3-stage electromagnetic lens - Objective lens aperture ·Movable aperture - Stigmator ·Electromagnetic type 2. EDS (Bruker AXS) ·Image resolution : 125eV at 30mm2(MnKa) · Detection range : Be(4) to U(92) · Analysis contents : Quantitative &Qualitative analysis · Coater : OsO4활용분야 ① 금속 재료 분야 - 금속 및 세라믹스의 표면 관찰 - 반도체에서 기판위에 증착시킨 박막 두께 관찰 ② 화학공업분야 -고분자의 형태와 크기 표면형상 관찰 ③ 생물 및 의학 분야 -저전압을 사용함으로 조직의 손상없이 형태 관찰 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201402/.thumb/20140210103549518.jpg |
| 장비위치주소 | 전남 순천시 매곡동 순천대학교 502-39 한국기초과학지원연구원 순천센터 순천대학교 공동실험실습관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-06-057816 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008934 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |