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장비 및 시설 기본정보
저 진공 탁상용 주사전자 현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코셈 |
| 모델명 | EM-30 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-06-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 분말 시료의 합성 또는 단 결정 성장 과정 도중 입자들의 크기 및 모양을 관찰하여 그 상태를 점검하고 보다 최적화 된 합성 및 성장 경로를 확인하는 장비이다. 일반 SEM들은 고 배율을 목표로 고진공과 백금코팅같은 시료 표면처리를 필요로 하게 되는 데 본 장비는 이러한 시료 전처리 없이 저 진공에서 그 성능이 최적화 되어있는 것으로 수시로 그 상태를 확인하여 다음 단계를 결정할 수 있을 정도의 성능을 가지고 있다.구성 1. Gun unit 2. HV tank unit 3. Column unit 4. Chamber & Stage unit 5. Detector unit 6. Control unit 7. Vacuum unit 기능 1. 분해능 : 5.0nm (30KV SE Image) 2. 배율 : x20 ~ x20000 3. 이미지 : Secondary Electron Image (SEI) 4. 가속전압 : 1/3/5/10/15/20/30kV 5. 전자총 : 텅스텐 Pre-align cartridge filament 6. 렌즈 시스템 : 2 level reducing system 7. Objective Iris : portable aperture (4 level variable) 8. Image shift : +/- 50um (WD:10mm) 9. Stage: X(35mm) Y(35mm) - auto stepper motor stage T(0~45 deg) - auto stepper motor stage R(360 deg) Z (5~50mm) - manual stage 10. 시료 크기(최대): 70mm 11. 이미지 포맷 : JPG TIFF BMP PNG 12. 이미지 표시 : 22‘’ LCD monitor 13. Processing mode : 자동제어 - 자동 전자총 정렬 - 자동 명암 & 밝기 조정 - 자동 초점 보정 - auto stigmator - auto filament saturation 14. 진공 시스템 : 완전 자동화 - 저진공 : 로터리 펌프 - 고진공 : 터보 펌프세계 최고 수준의 기초과학 연구를 위해서는 새로운 물질을 합성하고 가능한 시료에 대하여 그 단결정을 성장시키는 것이 가장 기본적이면서 중요하다. 주 장비인 다이아몬드 앤빌 전기로 및 플로팅존 용융로에서의 합성 및 결정 성장 최적화를 위한 보조 장비로서 주 장비 효율 극대화에 기여하게 된다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201307/.thumb/2013070216723425.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 자연과학대학 23동 2층 자연과학대학 23 4층 406 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-07-180674 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040682 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |