| 보유기관명 |
전남테크노파크 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C201 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
본장비는 고온에서 성형과 열처리를 동시에 진행할 수 있는장비로 주로 비산화물 세라믹 소결에 사용된다. 소결중 진공소결 분위기 소결이 가능하며 사용가능한 가스로는 아르곤 질소 등이 사용가능하다.장비의 구성은 크게 프레스 시스템 열처리 챔버 시스템 배기 진공시스템으로 구성되어 있으며 프레스는 외부에서 유압을 이용하여 최대 300Ton까지 가압이 가능하며 열처리 챔버는 그라파이트 단열재와 발열체로 구성되어 있고 최대 2200도까지 승온이 가능하다. 또한 챔버 크기는 800x800x600H로 구성되어 있다.현재 이장비로는 반도체 제조공정에 사용되는 AlN히터 소재와 SiC소재를 제조하고 있으며 1회가동시 약 10장 정도의 Disk소재를 동시에 소결이 가능하다. 또한 세라믹 본딩을 위해서도 일부 사용되어지고 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/20130805164842281.jpg |
| 장비위치주소 |
전라남도 목포시 대양로 26 (연산동) (재)전남테크노파크 세라믹산업종합지원센터 시험제작동 1층 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2008-09-067959 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011018 |
| 첨부파일 |
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