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전계전자방출형환경주사전자현미경

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보유기관명	한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	ㅇ 원리 및 특징 10kV~30kV로 가속시킨 전자빔을 전자기 렌즈로 제어하여 시료에 조사시키면 비탄성충돌에 의해 2차 전자 후방산란전자 X-선 등이 방출. 이를 이용하여 시료의 고배율 미세조직 관찰 미세성분 분석 미세 집합조직 분석 등을 수행.ㅇ 구성 및 성능 구성: FEG-gun Vacuum console Electronics console Vacuum pump Support PC Microscope controller 성능: 고진공모드 저진공모드(10~130Pa) ESEM모드(10~4000Pa)에서 1.5nm이상의 분해능. 50~500000배(최대 2000000배)로 영상 확대 가능.ㅇ 사용예 및활용분야 반도체 금속 세라믹 섬유 플라스틱 등 각종 소재 □부품의 미세조직을 원자단위의 얇은 박막에서 부터 50~500000배까지 확대하여 관찰할 수 있는 전자현미경으로 소재의 특성분석 및 결정학적 해석을 위한 연구장비
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200902/.thumb/20090202114753.jpg
장비위치주소	인천 연수구 송도동 7-47 인천지역본부
NFEC 등록번호	NFEC-2009-02-069505
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011714
첨부파일

기업조회