| 보유기관명 |
한국표준과학연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
B608 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
반도체나 디스플레이 제조 등 진공공정의 리크검출에는 질량분석기형(mass spectrometer type) 헬륨 리크검출기(leak detector)가 사용되고 있다. 이 기기를 이용해서 안정된 측정값을 얻기 위해서는 장치 내부에 내장된 투과형(permeation type) 표준리크(standard leak)를 이용해서 자주 spectrometer를 교정해야 한다. 본 연구에서 질량분석기형 리크검출기의 비교교정 장치의 개발과 교정방법에 대한 연구결과를 언급하였다. 따라서 이 기술을 이용하면 질량분석기형 리크검출기를 구비하고 있는 현장에서도 표준리크의 비교교정이 가능하게 된다.
Many kinds of mass spectrometer type leak detectors have been widely used for detecting leak of vacuum processes in semiconductor and display industries etc. The leak detectors should be often calibrated by the permeation type standard leak in order to ensure accurate and reproducible leak measurement. We have developed a comparative calibration system for permeation type standard leak by using mass spectrometer type leak detector and specification of the calibration method. Following this technique the reliable calibration for leak standard ran be performed even in fields. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201106/.thumb/20110613112045.JPG |
| 장비위치주소 |
대전광역시 유성구 가정로 209 계측기기동(202) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2007-07-018636 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011741 |
| 첨부파일 |
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