| 시설장비 설명 |
ㅇ 원리 및 특징 - 나노 및 마이크로 크기의 형상을 측정할 수 있는 장비로 탐침(probe)과 시료 간의 인력 또는 척력을 측정함으로써 시료 표면의 정보를 얻는 장비 - 현재 나노와 나노 마이크로 크기가 혼합된 구조에 대한 연구가 많은 업체에서 진행되고 있다. 이와 같은 나노 마이크로 구조물의 경우 제작 뿐만아니라 측정에 관한 요구가 늘어나고 있으나 측정장비가 높은 가격과 전문적인 오퍼레이터가 필요하여 업체 자체적으로 구축이 힘든 실정으로 업체들의 측정 문의가 꾸준히 증가하고 있는 실정이다. 이와 같은 나노 크기의 구조물 측정은 주로 전자주사현미경(Scanning Electron Microscope)로 측정을 하고 있으나 형상의 모양만 사진으로 얻을 수 있으며 구조물의 깊이 폭과 같은 형상 데이터를 정확히 얻기 힘들다. 이러한 나노크기의 구조물의 깊이 폭 등을 측정하는 대표적인 장비가 AFM(Atomic Force Microscope)으로 나노 구조물 제작 및 성형 후 형상데이터를 얻고자 하는 업체에는 기술 지원 용도로 사용됨. |
