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장비 및 시설 기본정보
E-Beam 증발기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Edwards |
| 모델명 | BJD-1800 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-04-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D0 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | wafer size : 4 ~ 8inch wafer wafer loading : 동일 wafer 및 개별 size wafer MAX 5EA (4inch: 5EA 6inch: 5EA 8inch: 5EA Lift off 공정을 위한 dome 형대의 회전용 기판 홀더 step coverage공정을 위한 회전용 기판 홀더 Substrate heating : max 350 도 E-beam power : ~10kW Source : SiO2 Ti Cu Au Ni Al Cr Uniformity : ± 5% |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131007184249399.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 정보통신공학부 A동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-134322 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0022131 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |