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장비 및 시설 기본정보
잔류 가스 분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Stanford Research Systems |
| 모델명 | QMS300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 진공시스템 안의 잔류가스를 측정하는 것으로 잔류가스의 조성분석을 통하여 진공도를 측정하며, 진공시스템 안으로 흘려주는 가스의 양 혹은 시스템 안에서 일어나는 화학반응을 실시간 Monitoring할 수 있음 또한 응용분야는 진공시스템의 Leak detector로도 사용 가능함. 일반적으로 사용되는 Helium leak detector와는 달리 진공시스템에 어떤 영향을 주지 않고 Helium 가스 없이도 사용될 수 있는 장점이 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/2015031022538516.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 대구융합기술연구센터 공장동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200128 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0051002 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |