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장비 및 시설 기본정보
플라즈마크리너
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | E.A. Fischione Instruments |
| 모델명 | 1020 Plasma Cleaner |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-11-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 인하대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 Frequency Low Energy 로 Sample Surface의 HydroCarbon기타 오염등을 Oxygen Reaction에의해 H2O COCO2등으로 변환하여 Cleanning 하며 이를 Oil Free Rotary Pump Turbo Pump로 Pumping.구성및성능 Performance TEM & All FEG TEM. FE-SEM EPMA EBSD EELS TEM Aperture Cleaning. AUGER SIMS EDS ESCA.활용분야 TEM SEM Sample Surface의 HydroCarbon 기타 오염 제거 장비 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131007154520327.jpg |
| 장비위치주소 | 인천 남구 용현1,4동 인하대학교 253 인하대학교 5호관 1층 북111 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-04-051793 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008059 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |