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장비 및 시설 기본정보
평행광 노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이피오 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-04-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 자외선을 감광제에 조사하여 원하는 패턴을 제작하는 공정 장비 자외선을 평행하게 만드는 광학부 포함 유리 및 필름 형태의 포토마스크를 이용하여 노광 공정 수행 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110908151129.JPG |
| 장비위치주소 | 부산대학교 밀양캠퍼스 나노과학기술관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-055780 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812096518 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |