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장비 및 시설 기본정보
웨이퍼본더
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 비앤피사이언스 |
| 모델명 | TPS-1000A-AF-A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C512 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | Wafer bonder장비는 공정수행에 필요한 온도, 압력, 히터프로그램의 세그먼트, 전압, 전류 등을 지정할 수 있으며 공정 진행 시 시스템에 사용하는 입력및 출력상황을 한눈에 감시 할 수 있는 기능을 가지고 있는 장비입니다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201302/20130219114910933.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-175943 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00013 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |