초음파 스프레이 플라즈마 노즐 및 제너레이터
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 솔라세라믹 |
모델명 | Nano SPD TV1000-01 |
장비사양 | |
취득일자 | 2014-09-23 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국세라믹기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C500 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | -장비설명- 초음파 스프레이로 코팅 원료를 노즐을 통해 균일하게 분사시켜 챔버내 기판과 열 반응시키는 SPD(spray pyrolysis deposition) 기반으로 하는 장비임. 코팅온도, 초음파 세기, carrier gas를 조절하여 원하는 사양의 투명전도막 코팅막(FTO, SnO2)을 제조할 수 있음-구성 및 성능- 1. 코팅챔버 - 투명전도막 코팅용 으로 사용되는 장비 - 전장 : 466mm×466mm×500mm - Heating system : 상온 ~ 1,000℃(상판&하판) 2. 후두 - 코팅 중에 발생되는 외부 가스를 처리하는 용도로 사용 - 전장 : 1,500mm×800mm×1,960mm 3. Ultrasonic controller - 0 ~ 800 kHz - control df frequence and power - 60" spray 30" off(on & off 프로그램 포함) 4. Exhausting system : Anti-corrosive line size- 사용예- 코팅온도, carrie gas, 용액배합비, 배기 세기를 조절하여 원하는 투명 전도막(FTO, SnO2 등)을 제조하는데 사용되며, 코팅은 SPD(spray pyrolysis deposition) 방식을 채택함. 본장비로 코팅된 투명전도막은 다른 투명저도막에 비해 내열, 내구, 내화학성이 우수함. FTO 투명전도막은 염료감응형 태양전지, 발열히터에 적용되고 있음. |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201409/.thumb/201409261128590.jpg |
장비위치주소 | 서울 금천구 가산동 233-5번지 한국세라믹기술원 신소재연구동 2층 207 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-10-192194 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045472 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |