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장비 및 시설 기본정보
다중집속빔 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Carl Zeiss |
| 모델명 | AURIGA |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-05-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 구미전자정보기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - SEM : 전자총에서 전자빔을 발생 가속시켜 시료에 조사한 후 시료 표면에서 발생된 2차전자 후방산란전자 등을 이용하여 미세한 표면의 요철 및 조성상을 관찰 - FIB : 30kV로 가속된 Ga ion을 시료에 조사하여 재료를 에칭하는 기술로서 표면 단면을 관찰* Resolution - Electron Beam : 1.2nm at 30kV 3.0nm at 1kV - FIB Column : < 5nm at 30kV * Acceleration Voltage : 0.2 at 30kV (SEM) 1 at 30kV (FIB) * Magnification : 20x - 1000000x (SEM) 300x - 300000x (FIB) * Image Detector : SE/Inlens/EsB Detector * Source : Schtokky (SEM) Ga ion (FIB) * Gas injection system : Multi GIS - Pt C XeF2 H2O SiO2 * EDS Resolution : 125eV(Mn Ka) * EDS Option : Point line Mapping- SEM : 재료의 형상분석 및 성분분석 - FIB : 표면 제거 및 단면 Etching 기능으로 막 제거 단면 관찰 - 금속/반도체/유기물 재료 생물시료에 적용 - FIB 이용 시료 전처리 후 SEM으로 이미지 확인 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201305/.thumb/20130527153945626.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 구미시 산동면 봉산리 첨단기업1로 17 구미전자정보기술원 경북과학기술진흥센터 1층 108호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-179317 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039607 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |