- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
고주파 반도체 검사기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엠에스테크 |
| 모델명 | MST-12000C |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-08-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 단국대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | RF Probe Station은 반도체 소자 나노재료 신소재 LCD TR Diode의 I-V C 측정을 위한 장비입니다. 3 에서 12 "까지의 크기 측정이 가능하며 측정온도는 (+) 200 ~ (-50) Dgreec 이고 배율은 ~ 800 x 까지입니다.1. MST-12000CH_RF 110GHz _RF 고주파 반도체 검사기 본체(Model: MSTECH-12000) a. 12“ inch vacuum chuck b. Z Stage Unit c. 12"x12" X-Y Stage Unit d. 2"x2" X-Y micrometer Translation manual type e. Other units - 6 positioner's vacuum switch : Left right 2. Microscope - Microscope(Maximum : ~ 800X ) _정밀현미경 3. RF Positioner body - HIGH RESOLUTION : 1um_110GHz 고주파 정밀 탐치기" 4. RF Probe Holder_Theta Micro Control 5. Vacuum Rail Type 6. Vacuum pump_저소음 진공 펌프 7. Vibration Table_Up Rack type 8. System Control Rack_1400 9. System Control PC *. Accessories : Ground Cable 4ea고주파 소자의 칩 특성을 분석하여 장치 1. MST-12000CH_RF 110GHz _RF 고주파 반도체 검사기 본체(Model: MSTECH-12000) 2. Microscope - Microscope(Maximum : ~ 800X ) _정밀현미경 3. RF Positioner body - HIGH RESOLUTION : 1um_110GHz 4. RF Probe Holder_Theta Micro Control 5. Vacuum Rail Type 6. Vacuum pump_저소음 진공 펌프 7. Vibration Table_Up Rack type 8. System Control Rack_1400 9. System Control PC |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201304/.thumb/20130422183142316.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 용인시 수지구 죽전1동 단국대학교죽전캠퍼스 126번지 단국대학교 죽전캠퍼스 서관 3층 319 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179565 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039628 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |