| 보유기관명 |
포항공과대학교 |
| 보유기관코드 |
|
| 활용범위 |
|
| 활용상태 |
|
| 표준코드 |
|
| 표준분류명 |
|
| 시설장비 설명 |
특징 Wafer Size: 8inch Thickness Uniformity: ±3%(3sigma) Side Step Coverage ≥ 65% @ Aspect Ratio 2.0 Pattern Bottom Step Coverage ≥ 80% @ Aspect Ratio 2.0 PatternWafer Size: 8inch Thickness Uniformity: ±3%(3sigma) Side Step Coverage ≥ 65% @ Aspect Ratio 2.0 Pattern플라즈마증착장치의 활용분야는 다음과 같습니다.
8인치 웨이퍼 두께 측정(Wafer Size: 8inch Thickness Uniformity) 및 직물 인열시 최대강도자동측정이 가능합니다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110215102849.jpg |
| 장비위치주소 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2010-12-120196 |
| 예약방법 |
|
| 카타로그 URL |
|
| 메뉴얼 URL |
|
| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018104 |
| 첨부파일 |
|
