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장비 및 시설 기본정보
박막측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-04-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (재)철원플라즈마산업기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | *특징 -접촉식(Stylus) 측정 방식으로 시료 위에 도포시킨 각종 박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다. -화학물질로 형성된 여러 종류의 박막 두께와 넓이 박막의 균일성을 0.1 Angstrom의 분해능으로 정확하게 측정한다.*구성및성능 -stylus 5um-60Degree Radius -Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm -Manual precision X-Y stage 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports활용분야 -박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다. -silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201009/.thumb/20100909151332.jpg |
| 장비위치주소 | 강원 철원군 서면 금강로 7194 . (재)철원플라즈마산업기술연구원 OLED조명연구동 1층 OLED공정실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-09-083501 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018617 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |