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장비 및 시설 기본정보
유도결합 플라즈마 활성이온 건식식각장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Oxford Instruments |
| 모델명 | Plasmalab 133 ICP380 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-08-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ○ 건식식각장치는 플라즈마 상태의 활성이온을 이용하여 각종 재료를 식각하는 장비임. 건식식각장치는 물리적인 식각방식으로서, 화학적 습식식각에 비하여 비등방성 구조 형성에 용이한 특징이 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201510/201510161648548.JPG |
| 장비위치주소 | 17 전력반도체연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205498 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058862 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |