주사탐침현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 파크시스템스 |
모델명 | Autoprobe M5 |
장비사양 | |
취득일자 | 2002-03-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 금오공과대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A208 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 캔틸레버라고 불리는 작은 막대 끝부분에 달려 있는 탐침과 시료표면의 원자 사이의 힘에 의해 캔틸레버가 아래 위로 휘게 되는데, 이때 레이저 광선이 캔틸레버 윗면에서 반사되는 각도를 포토다이오드로 측정하면서 그 값이 일정하게 유지되도록 상하조절을 함으로써 표면의 굴곡을 알아낸다.AP-2001 Auto Probe CP Reseach System PSFM-2000 Force Modulation, PSSC-0100 SCM Tool kit APEC-0034 Electrochemistry Open Liquid Cell PSMS-1000 Optical Microscope with CCD Sys PSML-0020 20X objective Lens for PSMS-1000 MOD-1L연마된 광학렌즈나 증착막의 두께 및 굴곡도 측정에서 부터 천연 광석의 표면분석 반도체의 표면 계측, defect 분석, 콤팩트 디스크, 자기 디스크나 광 자기 디스크등에 쓰인 비트의 모양새 조사 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201312/.thumb/20131223112930834.jpg |
장비위치주소 | 경북 구미시 양호동 금오공과대학교 1번지 국립금오공과대학교 테크노관 5층 504 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2013-12-184466 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041884 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |