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장비 및 시설 기본정보
접촉식 표면단차/두께측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | Dektak XT |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-03-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 기능 - 미세한 tip을 표면에 접촉시켜 scanning 함으로서 시편에 존재하는 박막 및 코팅믹의 단차를 측정하는 장치임. - 장비를 통해서 박막 및 후막의 두께 (step height)를 2차원적으로 측정가능함. - 2차원 단차 측정 뿐만 아니라 정밀 연마되었거나 거칠게 가공된 표면의 거칠기 및 waviness를 3차원적으로 측정 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201304/20130408152836377.png |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 10연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-177530 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KRICT_PA-00171 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |