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장비 및 시설 기본정보
원자층 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엔씨디 |
| 모델명 | Lucida D100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C509 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 구성및성능 : 1. Process chamber module 2. Gas delivery module 3. Frame module활용분야 High aspect ratio를 가지는 nano-scale hole을 이용하여 ReRAM 물질을 증착하거나 복잡한 패턴과 높이를 가지는 소자들(Si nanowire multi-stacked 3D ReRAM 등)을 제작할 때 각 용도에 맞는 다양한 기능을 가지는 산화물을 conformal하게 증착하기 위해 쓰임. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/20140424173015417.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 금호관 2층 204 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-04-078885 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017493 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |