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급속열처리로

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보유기관명	구미전자정보기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C601
표준분류명
시설장비 설명	반도체 및 Solarcell 제조 공정시 Metal line 형성 후 급속 열처리를 통해 Metalization을 유지해 줌으로서 미세 Contact Hole에 Metal line을 Uniform하게 만들어 주고 절연저항을 최소화 할 수 있어 전하 전도성을 높여 Metal 효율을 극대화 하는 장비.- RTA Frame - Halogen lamp unit - Hot temp. chamber - TPR unit - PC Controller - TPR Unit - AR N2 Gas line unit - L/UL Cylinder unit - Pyrometer unit - Electric Panel unit반도체 공정중에 건식증착을 통해 전극을 형성하고 이를 열처리 공정을 통해 낮은 저항을 갖는 금속전극 후처리 공정장비 태양전지 셀에서는 실버 및 알루미늄 전극을 프린팅 기법을 통해 형성하고 기판과의 접촉성 향상을 위해 수행하는 소성공정장비
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201306/.thumb/2013061215431198.bmp
장비위치주소	경북 구미시 산동면 봉산리 첨단기업 1로 17 구미전자정보기술원 대경권태양광테스트베드센터 1층 104
NFEC 등록번호	NFEC-2013-06-179886
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0038285
첨부파일

기업조회