| 보유기관명 |
성균관대학교 자연과학캠퍼스 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A206 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
광학 현미경으로 관측이 어려운 고배율의 고체 시료 표면을 관측할 수 있다. 전자 빔의 파장은 광학 현미경보다 짧아서 빛의 파장보다 작아서 볼 수 없는 시료들을 초고배율로 관측이 가능하다.진공 펌프 진공 모듈 필라멘트 전자가속기 xyz 매니퓰레이터 스테이지 오퍼레이팅 프로그램과 구동 컴퓨터로 구성되어 있다. 이론적으로 최대 30만 배로 확대한 표면을 관측할 수 있다.금속 표면 각종 유기물 표면 나노 소자 등의 관측에 쓰인다. 전자 빔은 금속류가 아닌 시료들의 원자 구성을 파괴하는 성질이 있다. 이를 이용하여 전자 빔 리소그래피로 확장할 수 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201307/.thumb/20130717203555745.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제2종합연구동 6층 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-07-181194 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039118 |
| 첨부파일 |
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