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장비 및 시설 기본정보
자외선 펨토초 레이저 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Spectra Physics |
| 모델명 | Solstice |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-01-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A410 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 극초단 펄스 레이저를 이용한 미세가공은 비열적(non-thermal) 가공이다. 즉 펄스폭이 극단적으로 짧기 때문에 레이저빔에 의한 열영향부를 최소화할 수 있어 sub-㎛급 가공이 가능하다. 또한 극초단 펄스 레이저의 비선형(non-linear) 광학현상으로 인한 재료 무의존성(independency)을 가지고 있기 때문에 어떠한 재료도 가공할 수 있는 장점이 있다. 이러한 장점을 가진 극초단 펄스 레이저를 첨단산업분야인 IT/BT/NT 분야의 초정밀 핵심부품 제작에 응용하고자 하는 연구가 전세계적으로 활발히 진행되고 있다. 펨토초 레이저와 같은 초단 펄스 레이저(short pulse laser)는 낮은 레이저 에너지로도 짧은 펄스폭에 의한 높은 첨두출력이 가능하여 초점부에 플라즈마를 생성시킬 수 있다. 펄스가 존재하는 시간이 짧아 시편에 미치는 열적인 효과는 거의 무시되므로 펨토초 레이저의 펄스가 긴(long pulse) 레이저를 이용한 패턴의 가공 시 발생되는 열적 충격 및 손실을 제거함으로써 초미세 정밀 가공에 적합한 공정 조건을 만족 시킬 수 있다..- 레이저파장: 267nm(DUV) 400nm(UV) - 펄스 폭: < 100 fs (femtosecond10-15) - 펄스에너지 : 0.7 mJ/pulse (@5kHz) - 레이저 파워 : 3.5 W - 레이저 반복율: 1kHz 5kHz 10kHz - 빔 모드 TEM00 - 빔 직경 10.0mm섬유제품 시험 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126164753.JPG |
| 장비위치주소 | |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-126297 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019816 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |