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장비 및 시설 기본정보
튜브형 열처리로
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 썸백 |
| 모델명 | AWB-04 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-12-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Standard Specification Type : Horizontal type Tube material : INCONEL SUS 310 SUS 316 QUARTZ ALUMINA Vaccum and Atmosphere Furnace Application - End Seals : Vaccum tight or Gas tight sealing - Vaccum: ~ 10 ^-6 Torr of High Vaccum - Atmosphere Control : Automatic/Semi-Automatic/Manual - Gas Pre-heater : Stabilized temperature during Gas Injection - Hydrogen Gas Safety Device : N2 Fuzzy gas control and Burn out DeviceTemp Range - Ambient +5℃ to 250℃ Time range 00.00 to 99HR 59MIN (MIN SEC) Selectable Digital Counter Timer Temp & Time controller Microprocess P I D Membrain Touch Digital controller Heater 제어방식 SSR 무접점 제어 방식 Temp Accuracy & Stability ±0.1℃ Temp Uniformity ±3.0℃ at 120℃ Heater capa 1500W Dimension Internal - 555×450×600 (W×D×H ) Dimension External - 675×592×978 Capa - 150 L Material Internal - Stainless Steel with Polishing Finished실리콘웨이퍼 SiO2 성장 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125155552.JPG |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 실험동 1층 메인클린룸 wet |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-126368 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019837 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |