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장비 및 시설 기본정보
스트레스 측정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Frontier Semiconductor Inc(FSM |
| 모델명 | 500TC |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-03-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 포항공과대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C712 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 스트레스 측정장치(Stress Measurement System)의 특징은 다음과 같습니다. Film stress hysteresis 분석 CMP 및 etching 후 표면분석을 합니다.스트레스 측정장치(Stress Measurement System)의 구성 및 성능은 다음과 같습니다. Room Temperature에서 500℃까지 가열하면서 물질의 특성 및 stress hysteresis 분석을 합니다.활용분야 wafer stress measurement 1. Safety Feature: A. An emergency shut off (EMO) circuit is provided to totally de-energize the equipment in the event of an emergency situation - EMO circuits is supplemented by a control circuit which must be manually activated to re-energize the equipment. EMO buttons is a minimum of 1 ½ inches in diameter red in color and with a protective collar to prevent accidental activation. 2. System Specifications: A. The High temperature Film Stress system is equipped with a Heat Chuck that is computer temperature controlled from ambient to 500ºC. Ramp temperature rate shall be from 1ºC/min to 12ºC/min but recommended ramp rate should be 3ºC/min to 6ºC/min. B. Inert purge gas that can be used to purge the chamber is one of the following - Nitrogen Argon or forming gas. C. Ability to manually load and measure 100 mm 150 mm and 200 mm wafers. D. The system is capable of Stress vs. Temperature and Stress vs. Time profiles. Temperature range is from ambient to 500ºC. E. The system is capable of determining thermal stability of thin films through single or multiple thermal cycles. F. The system is capable of exporting data to offline spreadsheet programs (for example: Microsoft Excel). G. The system includes a control module of greater than or equal to 80.0 GB of data storage capacity 256 MB of RAM CD ROM and 1.44" floppy disk drive and a 17" Flat Screen Color Monitor.. H. All system software Windows XP based operating system will be the most current version offered by supplier. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110214144803.gif |
| 장비위치주소 | 경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-06-071058 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008562 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |