| 보유기관명 |
포항공과대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C502 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
기판세척&건조기(Rinse&Dryer)의 특징은 다음과 같습니다.
자동 세척 및 건조 시스템 기능(Automated rinse and dryer system) Process controller with panel and display to select parameters:구성및성능 Process controller with panel and display to select parameters: speed time acceleration pos./neg. dosing of automated develop system기판세척&건조기(Rinse&Dryer)의 활용분야는 다음과 같습니다. 4" 6" 8" Wafer Cleaning Process controller with panel and display to select parameters: |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110131160913.jpg |
| 장비위치주소 |
경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2008-06-071060 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008560 |
| 첨부파일 |
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