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장비 및 시설 기본정보
푸로브 스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Mmu Semicon |
| 모델명 | MS8000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-06-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 4단자의 탐침 모듈과 지지대 그리고 소자 선반으로 이루어진 장치. 마이크로 사이즈의 미세전극을 쉽게 접촉시킬 수 있으며 측정이 매우 세밀하게 이루어져 미세 전류 값을 외부 영향에 의한 왜곡 없이 측정할 수 있도록 해줌. 또한 고배율 현미경이 장착되어 있어서 시각적으로 소자의 상태를 확인할 수 있어 소자의 전기적 특성을 측정하는데 용이함.- 6 vacuum low noise chuck Dual vacuum on/off switch - 6"x6" stage X-Y manual fine motion Knob control unit - 1"x1" X-Y microscope translation manual type - Platen-aluminuim up/down fine control micrometer knob Microscope mount-olympus (～80X) - Microscope mount high resolution - Eyepiece : 20X -dual - Zoom ( 1～4X) Total magnification : (～80X) - LED illuminator volum control type특징 반도체 특성 분석 Proper station main body unit 구성및성능 FET 소자의 특성을 분석할 수 있다. 활용분야 FET소자 특성 분석 - LED illuminator volum control type |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111025110347.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 신재생에너지연구소 4층 415 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-048331 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041490 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |