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장비 및 시설 기본정보
투명전극 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 선익시스템 |
| 모델명 | SUNICOAT-562L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-10-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경희대학교 산학협력단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Film 및 Glass에 Magnetron-DC sputtering 공정을 통해 Target 물질을 증착하는 장비로 multi-layer 및 co-sputtering이 가능하며 현재 ITO 및 IZO Target이 장착되어 있다.- Substrate(GlassFlim) size: Up to 150mm X 150mm - Load lock chamber(ultimate pressure): 5E-3 Torr - Process chamber(ultimate pressure): 8E-8 Torr - Available of co-sputter - Temp. setting range: 10-200도 - Thickness Uniformity: Less than 3%Film 및 Glass에 DC sputtering 공정을 통해 ITO 및 IZO의 Target 물질을 증착하는 장비로 multi-layer 및 co-sputtering이 가능하게 되어 있다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201012/.thumb/NFEC-2010-12-118566.jpg |
| 장비위치주소 | 경기도 용인시 기흥구 덕영대로 1732 (서천동) 멀티미디어관 B1 경희대학교 산학협력단 멀티미디어관 지하1층 105 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-118566 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0019292 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |