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장비 및 시설 기본정보
프로브 스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cascade Microtech |
| 모델명 | Summit 12000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-04-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Probe station은 반도체 소자들에 전기적 신호를 인가 및 확인이 가능하도록 전기적 연결을 하는 장비로써 MPG (metal/piezo/graphene) 구조로 구성된 터치 소자의 전기적 특성 분석에 필요한 시스템이다. 본 장비를 도입하게 되면 작게는 1인치부터 크게는 8인치 크기의 대구경 반도체 소자를 분석할 수 있게 된다. 그래핀으로 구성된 터치 소자의 경우 ambient에 영향을 받기 때문에 ambient를 조절하며 특성 분석을 할 수 있는 시스템이 구축되어야 한다. 이와 같은 장비를 이용하면 터치 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정 할 수 있으며 또한 온도 및 ambient를 조절할 수 있어 반도체 소자의 다양한 특성을 분석할 수 있다.1) Substrate : 200 mm 2) Temperature range : -60 ~ 250 deg. C 3) Ambient control : N2 O2 4) Low offset current : ~ 20fA 5) Semi-auto system그래핀으로 구성된 터치 소자의 전기적 특성을 정확하게 분석하기 위해서는 측정 중에 N2 혹은 O2 분위기를 조성할 수 있어야 한다. 이러한 분위기 조절은 반도체의 정확한 특성을 분석 가능케 한다. 또한 동시에 온도를 조절하여 전기적 특성을 분석할 수 있으면 소자의 extrinsic한 특성을 분석할 수 있어지고 다양한 관점에서 분석을 시도할 수 있다. 이러한 연구는 그래핀 터치 소자들의 이해를 돕고 소자 특성 개선 및 새로운 소자 개발의 효율을 올릴 수 있을 것이다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201304/.thumb/20130429173154670.jpg |
| 장비위치주소 | 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 광주과학기술원 신소재공학동 2층 204 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-04-178436 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040282 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |