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장비 및 시설 기본정보
잔류가스성분분석시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 진영테크 |
| 모델명 | ROGES-200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-07-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F401 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | - 사극자질량분석기를 사용하여 태양전지 제조공정 중 전구체 및 불순물 원료 분석 - CVD 공정장비 배기펌프 흡기부에 T형 분기를 이용하여 설치 - 소형진공챔버 및 펌핑시스템 장착으로 현장에서 감압 후 측정 - CVD 공정 압력범위 : 100 mTorr ~ 5 Torr - 전구체 성분 검출~200 a.m.u. (Pfeiffer社 PrismaPlus® QMG 220 또는 동급 부품 사용) - 모든 시스템을 통합한 이동형 카트케이스 적용 - RS-232 인터페이스를 이용한 데이터 수집 및 분석 - 시간에 따른 잔류가스 성분변화량 분석 및 데이터 수집/저장, 스펙트럼형 데이터 표시 - OES 연동 맞춤형 소프트웨어를 이용하여 OES와 잔류가스의 시간에 따른 변화량을 동시에 모니터링 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201507/20150717143758920.jpg |
| 장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-07-203865 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057941 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |