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장비 및 시설 기본정보
금어븀 스퍼터 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크㈜ |
| 모델명 | KVS-2000L |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-11-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | Au: Er Sprttering System Consist Of Process Chamber(UHV Type) Loadlock Chamber with Sample Transfer Unit Vacuum Pumping Unit 4" Substrate Unit (Cooling, Rotation & Z- Motion) Ion Beam Metal Sputtering Source Frame & System Control Unit (Semi- Auto) |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201212/20121218100011.JPG |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 계측기기동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-03-176690 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050523 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |