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장비 및 시설 기본정보
파일롯 필름스퍼터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ulvac |
| 모델명 | SPW060C1 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-10-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 롤 상태의 필름 웹이 정밀한 Tension제어를 통해 풀려지면서 열처리와 표면 전처리를 거치고 프로세스쳄버에 진입 하여 메인드럼을 접촉하며 주행하면서 캐소드에 장착된 타겟물질이 기재의 표면에 스퍼터링 방식을 이용한 코팅이 이루어짐. 최종적으로는 리와인더에서 균일한 롤 상태로 감기게 됨. - 메인드럼에 다층의 물질을 올리기 위해 캐소드가 3 세트 이상 설치되어 있음. - 언와인더 및 리와인더 쳄버가 프로세스쳄버와 독립적으로 운용됨.- 설비구성 : 언와인더/프로세스쳄버/진공유닛/리와인더/인라인모니터링/전기장치/구동부/소프트웨어 등 - 주요성능 : 클린룸 사용 적합한 디자인으로 분진발생이 적고 캐소드 사이에 Crosstalk이 거의 없음. 와인딩 정밀도가 우수하고 모듈 시스템으로 설비 보수 및 확장에 유리함.- 광학용 필름 코팅 및 소재 개발 - 플렉시블 디스플레이 기판용 필름 및 구조 개발 - 습식코팅 장비와 연계한 차세대 고품질의 코팅 기술 개발 - 컨소시엄 가입사를 중심으로한 국내기업의 건식코팅 신제품 개발 및 사업화 지원 - 광학용 필름 코팅 및 소재 개발 - 플렉시블 디스플레이 기판용 필름 및 구조 개발 - 습식코팅 장비와 연계한 차세대 고품질의 코팅 기술 개발 - 컨소시엄 가입사를 중심으로한 국내기업의 건식코팅 신제품 개발 및 사업화 지원 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201211/.thumb/20121121192302.JPG |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 가정로 141 (장동) 한국화학연구원 5연구동 1층 클린룸 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174544 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0035919 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |