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장비 및 시설 기본정보
듀얼 임피던스정합 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이에스엔지니어링 |
| 모델명 | AMV-13KNFRI-P/APG-3013 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-09-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D0 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 듀얼 매칭 시스템에서 임피던스 정합기의 경우 2 MHz 와 13.56 MHz 고주파를 동시에 인가하여 임피던스를 정합하여 플라즈마를 발생시키는 것이 가능하며 연속파 이외에도 펄스 파형을 인가하는 것이 가능함. 또한 13.56 MHz 고주파 전원장치의 경우 최대 50 kHz 주파수의 펄스 형태의 고주파 전원을 인가하여 펄스 플라즈마를 발생시키는 것이 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201711/20171106132646124.JPG |
| 장비위치주소 | 플라즈마기술연구센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-11-240612 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181202 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |