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장비 및 시설 기본정보
반도체용 금속증착시스템(Pt 타겟 장착)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)올텍 |
| 모델명 | sputtering system |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2002-10-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201407/.thumb/2014070810719315.jpg |
| 장비위치주소 | 경남 창원시 성산구 성주동 28-1 한국전기연구원 제3연구동 1층 114 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2003-04-040875 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0016466 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |