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장비 및 시설 기본정보
전자빔 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 울텍 |
| 모델명 | SEE-5 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-07-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 기초과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 전자빔 증착장비는 전자빔 소스인 hot filament에 전류를 공급하여 발생하는 전자빔을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치시키면 전자의 충돌로 인하여 증착 재료가 가열되어 증발하게되고, 이때 윗 부분에 위치한 기판에 박막이 형성되는 원리를 사용하여 금속박막의 제작에 활용됨. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161124164050999.png |
| 장비위치주소 | 울산과학기술원 저차원탄소혁신소재연구관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-213136 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062831 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |