| 보유기관명 |
연세대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A206 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
Scannig Electron Microscope(주사전자현미경)은 전자빔을 이용하여 Sample의 이미지를 보는 장비이다.
기존의 광학현미경은 빛을 이용하여 시료를 보는 것이라면 SEM은 텅스텐에서 방출되는 열전자를 이용하여 시료를 전자계렌즈를 이용해 보는 장비이다. 텅스텐 filament에 전압을 걸어주어 전자가 방출되게 되며 여기서 나온 일차전자가 시료에 닿게 되면 전자와 시료와의 상관관계에 의해 여러신호가 나오는데 그 신호들은 이차전자 오제전자 X-ray 후방산란전자등의 신호가 나온다. 이때 SEM은 이차전자신호를 사용하여 이미지를 보는데 시료의 포층의 깊이 10 nm 이하에서 나오는 신호로 Sample의 표면정보를 준다. 이 이차전자를 검출할 수 있는 detector가 SEM에 장착되어 있으며 이신호를 증폭하고 디지털로 변환하는 작업을 통해 PC상의 Monitor에서 볼 수 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013102314591998.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 서대문구 신촌동 연세대학교 0 0 공학원 지하1층 B118FA |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-03-157063 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031537 |
| 첨부파일 |
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