| 보유기관명 |
서강대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C506 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
스퍼터(Sputter)는 스퍼터링 방식으로 박막을 제조하는 장치로 진공 상태에서 아르곤 가스를 소량 주입하고 한편에는 재료 물질인 원반형 타겟을 두고 반대 쪽에는 기판을 두고 둘 사이에 전압을 인가하되 직류(DC)와 라디오 주파수(RF). 전압이 인가되면 아르곤이 이온화되고 전압에 의해 가속되며 타겟에 부딪히게 된다. 이때 타겟의 재료가 튀어나와서 반대쪽에 있는 기판에 붙어서 박막이 성장하게 된다. 타겟의 이면에 특수한 자석을 붙여서 효율을 향상시킨다. 산소 질소등의 반응성 기체를 첨가하여 반응성 스퍼터링을 하여 산화물과 질화물 박막을 제조하거나 백금(Pt) 팔라듐(Pd) 등의 전극을 제작하는데 사용된다. 오일 로터리 펌프(oil rotary pump GHP-550)을 이용하여 저진공 상태를 만들고 터보 분자 펌프(turbo molecular pump)를 이용하여 고진공 상태를 만든다. 진공상태는 이온 게이지 센서(ion gauge sensor)를 이용하여 확인가능하가. 가스의 유량은 MFC를 이용하여 조절 가능하도록 설계되어 있다. 그리고 2인치 RF 총(gun) 2개와 2인치 1개의 DC 총을 갖고 있다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110930153651.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 마포구 신수동 서강대학교 1번지 서강대학교 리찌과학관(R관) 10층 1018 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2008-07-060339 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009115 |
| 첨부파일 |
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