| 시설장비 설명 |
Newview600은 부드러운 표면에 대한 정밀한 프로 파일링과 저비용의 3D 이미지를 제공합니다. 본 시스템은 백색광 간섭계를 이용한 측정 방법으로 실리콘 웨이퍼 세라미그 광 하드 디스크 등 다양한 표면에 대한 고해상도의 표면 측정 데이터를 신속하게 얻을 수 있습니다. 또한 표면에 대한 정밀한 프로 파일링 및 3D 이미지를 얻기 위해 전용 소프트 웨어를 제공받아 사용하고 있으며 그러한 소프트 웨어를 통해 표면 정보를 보다 신속하게 분석할 수 있습니다. 다음은 Newview600에 대한 스펙입니다. 사용 예로는 실험실 내에서의 기준으로 주로 미세 형상을 갖는 diffractive lens 및 fresnel lens 등 다양한 미세 형상 구조를 갖는 micro lens의 형상 측정 그리고 미세 가공에 의한 표면 형상의 가공 정도 및 표면 조도를 파악하기 위해 사용되고 있습니다. 이 장비의 최대 장점은 짧은 시간 안에 넓은 범위의 형상 정보를 얻을 수 있다는 것이며 측정된 정보를 바탕으로 제공된 소프트웨어를 통해 각종 표면 형상 또는 그 특징을 짓는 파라미터 값을 쉽게 계산할 수 있습니다. vertical resolution = 0.1nm Lateral resolution = 0.36~5.2um Measurement time = ~5sec step height accuracy = 0.75% |
