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DC&RF 마그네트론 스퍼터

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명
시설장비 설명	* DC&RF 마그네트론 스퍼터(DC&RF Magnetron Sputter) 특징 Si 나노구조체를 이용한 열전소자 태양전지 및 LED 제작용 박막 증착장비 - 금속박막의 증착 - 반도체박막의 증착 - 절연박막의 증착* DC&RF 마그네트론 스퍼터(DC&RF Magnetron Sputter) 구성및성능 - 플라스마 여기방법 : DC 2채널 RF 1채널 (magnetron sputter) - DC 전력 : 1kW RF 전력 : 600W (RF matching box 포함) - 스퍼터 Gun : 3 타겟 2 인치 직경 - 최대 기판크기 : 4 인치 직경 (조각시편 장착가능) - 도달진공도: 2x10-7 Torr - 기체흐름조절장치: Ar O2 N2 (MFC 조절) - 전력: 3상 220V 50A* DC&RF 마그네트론 스퍼터(DC&RF Magnetron Sputter) 활용분야 - 금속박막의 증착 - 반도체박막의 증착 - 절연박막의 증착 Main Chamber Target gun Turbo pump RF generator
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201509/.thumb/20150921165936812.JPG
장비위치주소	대구광역시 달성군 현풍면 테크노중앙대로 333 대구경북과학기술원 2연구동 6층 610
NFEC 등록번호	NFEC-2009-10-075088
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013840
첨부파일

기업조회